- 純氮(Grade 3)
- 純度:≥99.9%
- 執行標準:GB/T 8979-2008《純氮》
- 高純氮(Grade 4/5)
- 純度:≥99.999%
- 執行標準:GB/T 8980-2008《高純氮》
- 超純氮(Grade 6+)
- 純度:≥99.9999%
- 符合SEMI國際標準
- 純度測定
- 差減法:總雜質含量≤0.1%(純氮)
- 直接測定法:用于高純度氣體(>99.99%)
- 氧含量檢測
- 電化學法:檢測限0.1ppm
- 激光光譜法:可達ppb級
- 水含量(露點)
- 電容式露點儀:-80℃~+20℃
- 冷鏡式露點儀:精度±0.1℃
- 純氮關鍵指標:
- 總烴含量(≤0.5ppm)
- 二氧化碳(≤10ppm)
- 顆粒物粒徑(≤0.1μm)
- 高純氮擴展檢測:
- 特定雜質(CO、CH4)≤0.1ppm
- 金屬離子總量≤10ppb
- 放射性核素檢測
- 超純氮特殊要求:
- 痕量硫化物(H2S、SO2)≤5ppt
- 重金屬(Fe、Cu、Cr)≤0.1ppb
- 亞微米顆粒(≥0.01μm計數)
- 氣相色譜-氦離子化檢測器(GC-PDHID)
- 檢測限達ppb級
- 可同時測定H2、O2、CO等10種雜質
- 電感耦合等離子體質譜(ICP-MS)
- 金屬元素檢測下限0.01ppb
- 適用于半導體級氮氣檢測
- 質子轉移反應質譜(PTR-MS)
- 揮發性有機物檢測靈敏度0.1ppt
- 激光粒子計數器
- 0.01μm顆粒檢測能力
- 符合ISO 14644-1潔凈度標準
- 采樣系統處理
- 內壁鈍化不銹鋼管路
- 前置膜式過濾器(0.01μm)
- 環境干擾控制
- 正壓取樣室(ISO 5級)
- 在線脫氧脫水預處理
- 數據可靠性保障
- 三重四級桿質譜驗證
- NIST標準氣體定期校準
- 電子行業(超純氮):
- 鈉、鉀離子≤0.05ppb
- 有機硅氧烷≤1ppt
- 食品級氮氣:
- 微生物限度≤1CFU/m³
- 油分含量≤0.01mg/m³
- 醫療用氣:
- 一氧化氮≤0.1ppm
- 環氧乙烷殘留檢測
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