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硅晶片檢測

發布時間:2025-06-13 16:28:44- 點擊數: - 關鍵詞:硅晶片檢測

實驗室擁有眾多大型儀器及各類分析檢測設備,研究所長期與各大企業、高校和科研院所保持合作伙伴關系,始終以科學研究為首任,以客戶為中心,不斷提高自身綜合檢測能力和水平,致力于成為全國科學材料研發領域服務平臺。

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  檢測周期:7-15個工作日,參考周期

  檢測范圍

  單晶硅片、多晶硅片、氧化硅片、硅氮化硅片、硅碳化硅片、磷化硅片、硅基太陽能電池片。

  檢測項目

  表面平整度、接觸角、厚度、晶體結構、電性能、光學性能、熱性能、化學成分、絕緣性能和表面粗糙度。

  檢測方法

  表面形貌觀測:掃描電子顯微鏡(SEM)、原子力顯微鏡(AFM)

  晶體結構分析:X射線衍射(XRD)

  厚度測量:橢偏儀、白光干涉儀

  電性能測試:電阻率測試、霍爾效應測試

  光學性能測試:反射率測試、透過率測試

  熱性能測試:熱導率測試、熱膨脹系數測試

  化學成分分析:X射線熒光光譜儀(XRF)、質譜儀

  絕緣性能檢測:介電常數測試、擊穿強度測試

  表面粗糙度測量:表面粗糙度儀、原子力顯微鏡(AFM)等。

  檢測儀器

  SEM、AFM、XRD、橢偏儀、白光干涉儀、電阻率測試儀、霍爾效應測試儀、反射率測試儀、透過率測試儀、熱導率測試儀、介電常數測試儀、表面粗糙度儀、XRF和質譜儀等。


  檢測標準

  CEI EN 50513-2010 太陽能晶片。太陽能電池制造用晶體硅晶片的數據表和產品信息

  GB/T 25188-2010 硅晶片表面超薄氧化硅層厚度的測量 X射線光電子能譜法

  GB/T 26066-2010 硅晶片上淺腐蝕坑檢測的測試方法

  JIS H0611-1994 硅晶片厚度、厚度不均勻度及其翹曲度的測定方法

  JIS K0148-2005 表面化學分析.用總反射X-射線熒光(TXRF)測定法測定硅晶片的表面主要污染物

  SEMI PV25-1011-2011 測量氧,碳,試驗方法在太陽能硅晶片和二次離子質譜法原料硼和磷

  T/CASAS 013-2021 碳化硅晶片位錯密度檢測方法 KOH腐蝕結合圖像識別法

  T/CASAS 032-2023 碳化硅晶片表面金屬元素含量的測定電感耦合等離子體質譜法

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