隨著第三代半導(dǎo)體材料在功率器件領(lǐng)域的規(guī)模化應(yīng)用,漏-源通態(tài)電阻(RDS(on))作為 MOSFET、IGBT 等器件的核心參數(shù),其檢測精度直接影響電力電子系統(tǒng)" />

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漏-源通態(tài)電阻檢測

發(fā)布時(shí)間:2025-05-22 04:58:35- 點(diǎn)擊數(shù): - 關(guān)鍵詞:

實(shí)驗(yàn)室擁有眾多大型儀器及各類分析檢測設(shè)備,研究所長期與各大企業(yè)、高校和科研院所保持合作伙伴關(guān)系,始終以科學(xué)研究為首任,以客戶為中心,不斷提高自身綜合檢測能力和水平,致力于成為全國科學(xué)材料研發(fā)領(lǐng)域服務(wù)平臺(tái)。

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注意:因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個(gè)人委托測試望見諒。

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想了解檢測費(fèi)用多少?
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漏-源通態(tài)電阻(RDS(on))檢測項(xiàng)目詳解

一、檢測核心項(xiàng)目

    • 測試條件
      • 柵極驅(qū)動(dòng)電壓(VGS):需在器件規(guī)格書標(biāo)稱值(如10V、15V)下測試,確保完全導(dǎo)通。
      • 漏極電流(ID):按額定電流設(shè)定(需考慮脈沖測試避免自加熱)。
      • 溫度條件:包括常溫(25℃)與高溫(如125℃、150℃),模擬實(shí)際工況。
    • 測試方法
      • 四線制開爾文測試法:消除引線電阻誤差,精度達(dá)μΩ級。
      • 脈沖電流法:施加短脈沖(μs級)電流,避免器件因持續(xù)導(dǎo)通發(fā)熱導(dǎo)致阻值漂移。
    • 開關(guān)過程中的導(dǎo)通電阻:評估器件在高速開關(guān)(如kHz-MHz頻率)下的瞬態(tài)阻抗特性。
    • 測試設(shè)備:需搭配高速示波器、電流探頭及低電感回路夾具,捕獲瞬態(tài)波形。
    • RDS(on)-T曲線繪制:在溫控箱中測量-40℃至+175℃范圍內(nèi)的阻值變化,分析溫度系數(shù)(通常為正值)。
    • 熱穩(wěn)定性驗(yàn)證:持續(xù)加載電流至熱平衡,觀察阻值是否因結(jié)溫升高而顯著偏移。
    • VGS-RDS(on)關(guān)系曲線:在不同VGS下(如4.5V至20V)測試阻值,確認(rèn)器件在低壓驅(qū)動(dòng)時(shí)的導(dǎo)通能力。

二、關(guān)鍵影響因素與控制措施

  1. 接觸電阻干擾
    • 使用鍍金探針或彈簧針夾具,壓力恒定(如1N),確保接觸電阻<1mΩ。
  2. 自熱效應(yīng)
    • 脈沖寬度≤100μs,占空比<1%,防止結(jié)溫累積。
  3. 測試回路寄生電感
    • 采用同軸電纜或PCB微帶線結(jié)構(gòu),回路電感<10nH,避免高頻振蕩。

三、檢測設(shè)備配置

設(shè)備 功能要求 示例型號(hào)
高精度源表(SMU) 四線制測量,分辨率≤1μΩ Keysight B2900A系列
脈沖電流源 峰值電流≥100A,上升時(shí)間<100ns Tektronix PWS4323
溫控試驗(yàn)箱 控溫范圍-65℃~+200℃,精度±1℃ ESPEC T系列
高速示波器 帶寬≥1GHz,支持差分探頭 Keysight Infiniium UXR
低電感測試夾具 接觸電阻重復(fù)性誤差≤0.5% 定制開爾文夾具

四、檢測流程(示例)

  1. 預(yù)處理
    • 器件焊接至測試板,靜置24小時(shí)消除應(yīng)力。
  2. 校準(zhǔn)
    • 短路校準(zhǔn):夾具短接,扣除系統(tǒng)本底阻抗。
  3. 測試執(zhí)行
    • 按JEDEC JESD24-6標(biāo)準(zhǔn)施加脈沖參數(shù)(ID=30A, Ton=50μs, Duty=0.1%)。
  4. 數(shù)據(jù)分析
    • 剔除因震蕩或噪聲導(dǎo)致的異常數(shù)據(jù)點(diǎn),取100次測量平均值。

五、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)與規(guī)范

  • JEDEC JESD24-6:功率MOSFET導(dǎo)通電阻測試方法。
  • AEC-Q101:車規(guī)級器件可靠性驗(yàn)證標(biāo)準(zhǔn),含RDS(on)高溫測試要求。
  • IEC 60747-8:分立器件測試通用規(guī)范。

六、典型問題與對策

  • 問題1:常溫測試正常,高溫阻值超標(biāo)。 對策:檢查封裝鍵合線斷裂或芯片燒結(jié)層空洞,進(jìn)行X射線或SAM掃描。
  • 問題2:動(dòng)態(tài)測試中RDS(on)波動(dòng)大。 對策:優(yōu)化柵極驅(qū)動(dòng)回路阻抗,增加RC緩沖電路抑制振蕩。
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