GB/T 24582-2009酸浸取 電感耦合等離子質譜儀測定多晶硅表面金屬雜質
發布時間：2025-07-08 17:33:35- 點擊數： - 關鍵詞：GB/T 24582-2009酸浸取 電感耦合等離子質譜儀測定多晶硅表面金屬雜質
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立即咨詢標準編號：GB/T 24582-2009酸浸取 電感耦合等離子質譜儀測定多晶硅表面金屬雜質
標準狀態：現行
標準簡介：本標準規定了用酸從多晶硅塊表面浸取金屬雜質,并用電感耦合等離子質譜儀定量檢測多晶硅表面上的金屬雜質痕量分析方法。本標準適用于堿金屬、堿土金屬和第一系列過渡元素如鈉、鉀、鈣、鐵、鎳、銅、鋅以及其他元素如鋁的檢測。本標準適用于各種棒、塊、粒、片狀多晶表面金屬污染物的檢測。由于塊、片或粒形狀不規則,面積很難準確測定,故根據樣品重量計算結果,使用的樣品重量為50g~300g,檢測限為0.01ng/mL。
英文名稱： Test method for measuring surface metal contamination of polycrystalline silicon by acid extraction-inductively coupled plasma mass spectrometry
中標分類： 冶金>>半金屬與半導體材料>>H80半金屬與半導體材料綜合
ICS分類： 電氣工程>>29.045半導體材料
發布部門： 中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
發布日期： 2009-10-30
實施日期： 2010-06-01
首發日期： 2009-10-30
提出單位： 全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)
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