GB/T 24577-2009熱解吸氣相色譜法測定硅片表面的有機污染物
發布時間：2025-07-08 17:33:34- 點擊數： - 關鍵詞：GB/T 24577-2009熱解吸氣相色譜法測定硅片表面的有機污染物
實驗室擁有眾多大型儀器及各類分析檢測設備，研究所長期與各大企業、高校和科研院所保持合作伙伴關系，始終以科學研究為首任，以客戶為中心，不斷提高自身綜合檢測能力和水平，致力于成為全國科學材料研發領域服務平臺。
立即咨詢標準編號：GB/T 24577-2009熱解吸氣相色譜法測定硅片表面的有機污染物
標準狀態：現行
標準簡介：本標準規定了硅片表面的有機污染物的定性和定量方法,采用氣質聯用儀或磷選擇檢測器或者兩者同時采用。
英文名稱： Test methods for analyzing organic contaminants on silicon wafer surfaces by thermal desorption gas chromatography
中標分類： 冶金>>半金屬與半導體材料>>H80半金屬與半導體材料綜合
ICS分類： 電氣工程>>29.045半導體材料
采標情況： MOD SEMI MF 1982-1103
發布部門： 中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
發布日期： 2009-10-30
實施日期： 2010-06-01
首發日期： 2009-10-30
提出單位： 全國半導體設備和材料標準化技術委員會
材料實驗室
熱門檢測
823
354
674
833
443
511
832
634
359
294
396
296
326
287
1381
258
396
347
515
318
推薦檢測
聯系電話
400-635-0567
掃一掃關注公眾號
