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GB/T 1558-2009硅中代位碳原子含量紅外吸收測量方法

發布時間：2025-03-11 09:32:28- 點擊數： - 關鍵詞：GB/T 1558-2009硅中代位碳原子含量紅外吸收測量方法

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標準編號：GB/T 1558-2009硅中代位碳原子含量紅外吸收測量方法

標準狀態：現行

標準簡介：本標準規定了硅中代位碳原子含量的紅外吸收測量方法。本標準適用于電阻率高于3Ω·cm 的p型硅片及電阻率高于1Ω·cm 的n型硅片中代位碳原子含量的測定,對于精密度要求不高的硅片,可以測量電阻率大于0.1Ω·cm 的硅片中代位碳原子含量。由于碳也可能存在于間隙位置,因而本方法不能測定總碳含量。本標準也適用于硅多晶中代位碳原子含量的測定,但其晶粒界間區的碳同樣不能測定。

英文名稱： Test method for substitutional atomic carbon concent of silicon by infrared absorption

替代情況：替代GB/T 1558-1997

中標分類：冶金>>半金屬與半導體材料>>H80半金屬與半導體材料綜合

ICS分類：電氣工程>>29.045半導體材料

采標情況： MOD SEMI MF 1391-0704

發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局中國國家標準化管理委員會

發布日期： 2009-10-30

實施日期： 2010-06-01

首發日期： 1979-05-26

提出單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會

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